輝光
网友科普
辉光是一种低压气体中产生的放电现象，属于气体放电类型，放电时在阴极附近形成亮区和暗区交替分布的发光效应，具有电流强度小（约几毫安）、温度不高的特点。其放电过程中，正离子轰击阴极产生二次电子，经簇射效应形成更多带电粒子，两极间电压集中在阴极狭窄区域且在正常放电时保持稳定。辉光放电的主要应用包括霓虹灯、日光灯的发光效应以及氖稳压管的稳压作用。在半导体工业中，该现象用于物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）及干法刻蚀等工艺。医疗领域通过辉光放电产生的等离子体实现医疗器械表面氧化层制备和生物相容性优化。光谱分析领域采用辉光放电光谱（GD-OES）进行薄膜材料及涂镀层的成分检测。辉光放电技术在核...
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